當前，全球半導體產業(yè)
競爭日益激烈
半導體設備核心零部件國產化
成為國家戰(zhàn)略的重中之重
在無錫經開區(qū)企業(yè)無錫索奧精密閥門有限公司的產線測試區(qū)，一排排銀色的半導體真空閥門正在進行出廠測試。多輪壓力測試后，屏幕上的數值依然在設定的0.1%誤差范圍內穩(wěn)定波動，標志著其核心指標達到國際產品水平，該領域國產設備首次具備與歐美國際巨頭同臺競技的能力。
近日，索奧自主研發(fā)的半導體APC擺閥完成技術攻關，繼其蝶閥產品之后，正式進入設備廠商的驗證流程。這兩款具備高精度自動控壓能力的半導體設備核心部件，填補了國內高端自動控壓真空閥領域的技術空白，為半導體產業(yè)鏈國產化注入了新動能。
真空閥門被稱為半導體設備的“壓力守門人”，在半導體制程的刻蝕和沉積工藝中，由真空閥控制的壓力穩(wěn)定性、精度等直接決定著晶圓的良品率，其重要性不言而喻。企業(yè)技術總監(jiān)李秉根介紹，真空閥的研發(fā)和生產難度較高，需要長時間的行業(yè)經驗和資源積累，國產設備起步較晚，90%的真空閥門都要依賴歐美進口，不但價格高昂，交期更是長達半年。隨著國內需求的持續(xù)增長和外部制裁的日益加劇，國產替代的需求愈發(fā)顯得緊迫和強烈。
索奧科技成立于2024年11月，主要從事半導體領域核心裝備與零部件的研發(fā)、生產及銷售，其響應國家半導體產業(yè)鏈自主化戰(zhàn)略，積極投身國內真空閥門等領域。在歷經從零起步的產品研發(fā)，以及多輪合作伙伴的更替探索后，索奧選擇“彎道超車”——與擁有十余年經驗的韓國Ronda、Novasen公司開展深度合作。依托韓方在APC閥門領域的技術積累，以及中國團隊的本土化運營經驗，索奧對標國際一流產品，迅速完成了半導體級蝶閥、擺閥等真空閥門的研發(fā)與國產化替代，改變了國內半導體該領域產品大量依賴進口的局面。
“軟件邏輯是產品核心�！逼髽I(yè)運營副總褚倩介紹，閥門能夠根據真空腔體內壓力的變化自主學習、實時精準調節(jié)閥門開合角度，并將控壓精度穩(wěn)定在±0.1%的國際水平�！拔覀兊哪繕耸钦婵臻y全線產品的國產化�！瘪屹徽f，企業(yè)已成立了國內產品研發(fā)中心，并組建本土化研發(fā)團隊。未來所有機械設計部分都將由中國團隊完成，軟件部分則由中韓研發(fā)團隊協(xié)同進行，在推進本土化的同時，確保核心技術競爭力持續(xù)提升。
目前，企業(yè)研發(fā)投入占比超30%，已獲得國家高新技術企業(yè)、無錫市雛鷹企業(yè)、江蘇省民營科技企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)等榮譽，累計獲得****30項，重點合作客戶包括拓荊科技、微導納米、先導科技、北方華創(chuàng)等多家半導體或光伏設備廠家。
值得一提的是，經開的產業(yè)生態(tài)為企業(yè)技術突破助力。通過經開區(qū)舉辦的半導體產業(yè)沙龍，企業(yè)對接上了在同一產業(yè)園區(qū)的電機供應商無錫奕帆。據介紹，目前奕帆的電機已通過送樣驗證，未來可能會批量應用于索奧閥門產品上，上下游協(xié)同的模式在經開“生態(tài)圈”內即可完成。
褚倩表示，依托區(qū)域產業(yè)生態(tài)和政策，企業(yè)正加速產業(yè)化進程，目前已與多家本地產業(yè)鏈企業(yè)建立初步合作。未來，索奧將繼續(xù)深耕真空閥門領域，在為半導體產業(yè)國產化提供助力的同時，助推區(qū)域產業(yè)鏈上下游更好協(xié)同發(fā)展，形成更強產業(yè)發(fā)展合力。